Our Business事業紹介 【産業ガス】特殊ガス
| 高純度ガス | 酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム、水素、一酸化炭素、炭酸ガス、メタン、空気、ネオン、クリプトン、キセノン、アンモニア、一酸化炭素、硫化水素、塩化水素、二酸化窒素、二酸化硫黄、塩素、六弗化硫黄、亜酸化窒素、その他メタン等炭化水素系各種ガス |
|---|---|
| 標準ガス | 環境汚染関連測定用(自動車用排ガス、大気汚染監視、煙道排ガス） 臭気測定用、ボイラー燃料管理用、可燃性ガス検知用、各種プロセスガスクロ用（3～7種混合）、都市ガス用燃焼器具類の試験用、その他標準ガス |
| 混合ガス | 管球用、還元用、放射線測定用・スパークチェンバー用、テクトロンチャプチャー用、潜水用、FIA燃焼用、溶接用、切断用、レーザー用ガス |
| スプレー 缶入り |
高純度ガス(N₂ 、Ar 、H₂ 、CH₄ 他） 標準ガス(CO ＋ N₂ ＋ HC ＋ N₂ 他） |
| ガス仕様 (39製品) |
シリコン系・ヒ素系、リン系、ホウ素系、水素化物、ハロゲン、ハロゲン化物、窒素酸化物、その他、キャリアーガス |
| イオン注入 装置用ガス |
高純度ガス(Ar 、H₂ 、N₂ 、O₂ 、AsH₃ 、PH₃ 、BF₃ ） 混合ガス(AsH₃ 、PH₃ ／ベースAr 、H₂ 、He 、N₂ ) |
| 有機金属類 | 16種 |